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同時(shí)抽取兩個(gè)腔體的真空，對(duì)應(yīng)的流量為220L/s,150L/s,leybold tw 290/20/20-uhv Turbo Pump能同時(shí)出去三個(gè)腔體的真空，

leybold TW290/20/20 UHV Turbo Pump對(duì)應(yīng)的三個(gè)腔體的真空流量分貝為290L/min,20L/min,20L/min

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leybold Tw220-150S對(duì)應(yīng)的控制器為leybold TDS,leybold TDS300或leybold TD400

潽拓——萊寶真空分子泵的維修服務(wù)，分子泵

廣州潽拓光電——德國(guó)Leybold TW70H渦分子泵維修保養(yǎng)

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